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设备配有初定位和二次精确定位视觉系统,确保芯片精确取放到老化板基座;
上下料小车,可以方便用户批量运送老化板到老化设备;
小车具有驱动机构,和本设备接轨后,可以满足逐层给设备供料;
四轴爱普生机器人,高精度、高速度完成芯片装载和卸载;